碳化硅外延制作方法包括化學(xué)氣相沉積法(CVD)、分子束外延法(MBE)、液相外延法(LPE)、脈沖激光淀積和升華法(PLD)等。其中CVD法較為普及,該方法能精確控制生長(zhǎng)條件,包括氣體源流量、溫度和壓力,從而精確控制外延層的厚度、摻雜濃度和類(lèi)型,重復(fù)性良好,設(shè)備適中,為目前主流技術(shù)。液相外延法和分子束外延法雖理論上可行,但外延制作的質(zhì)量、效率和成本均不如CVD法,不適合商業(yè)化應(yīng)用。碳化硅外延設(shè)備的密閉性、氣壓、氣體通入時(shí)間、配比和沉積溫度均需精確控制。器件耐壓提升,厚度和摻雜濃度均勻性的控制難度增加;外延層厚度增加,控制均勻性和缺陷密度的難度增加?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀(guān)眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀(guān)!中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)將于2025年3月10-12日在上海隆重舉辦,行業(yè)人士齊聚一堂,共襄盛會(huì)!3月6日先進(jìn)陶瓷裝備展
碳化硅外延需經(jīng)過(guò)光刻、沉積、離子注入等前段工藝形成碳化硅晶圓,再經(jīng)過(guò)減薄、封裝等后段工藝分別形成碳化硅芯片、功率器件及功率模塊。在制程上,SiC芯片與硅基器件的工藝類(lèi)似,但SiC制備需要特殊設(shè)備,如高溫離子注入機(jī)和高溫?zé)崽幚碓O(shè)備等??涛g、減薄等環(huán)節(jié)也需特殊設(shè)備。“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!五展聯(lián)動(dòng);第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)(PM CHINA)、2025上海國(guó)際線(xiàn)圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)(MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)(AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)(POWDEX CHINA)同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng),串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈,吸引更多的觀(guān)眾群體,形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技,又滿(mǎn)足觀(guān)眾和買(mǎi)家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀(guān)眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀(guān)!2024年3月6-8日上海國(guó)際先進(jìn)陶瓷及粉末冶金展聚焦前沿技術(shù),展示品質(zhì)產(chǎn)品,2025年3月10日,來(lái)“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”,與行業(yè)精英面對(duì)面交流!
陶瓷常指陶器和瓷器的總稱(chēng),指以粘土為主要原料以及各種天然礦物經(jīng)過(guò)粉碎混煉、成型和煅燒制得的材料以及各種制品,指所有以粘土等無(wú)機(jī)非金屬礦物為原料的人工工業(yè)產(chǎn)品。隨著現(xiàn)代制造方法的發(fā)展,陶瓷材料逐漸成為指用天然或合成化合物經(jīng)過(guò)成形和高溫?zé)Y(jié)制成的一類(lèi)無(wú)機(jī)非金屬材料。目前我們把陶瓷學(xué)定義為“制造和應(yīng)用由無(wú)機(jī)非金屬材料作為基本組分組成的固體制品的技藝和科學(xué)”。這一定義不僅包括陶器、瓷器、耐火材料、結(jié)構(gòu)黏土制品、磨料、搪瓷、水泥和玻璃等材料,而且還包括非金屬磁性材料、鐵電體、人工晶體、玻璃陶瓷以及幾年前還不存在甚至至今尚未出現(xiàn)的其他各種各樣的制品?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕。同期展會(huì);第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)(PM CHINA)、2025上海國(guó)際線(xiàn)圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)(MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)(AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)(POWDEX CHINA)同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng),串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈,吸引更多的觀(guān)眾群體,形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技,又滿(mǎn)足觀(guān)眾和買(mǎi)家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。
相比硅器件,SiC MOSFET在耐壓、導(dǎo)通電阻、開(kāi)關(guān)頻率等方面具有較好的優(yōu)勢(shì)。耐壓方面,SiC MOSFET在6500V時(shí)仍能保持高性能,而硅基MOSFET上限通常在650V左右。在開(kāi)關(guān)頻率超過(guò)1kHz時(shí),硅基IGBT(絕緣柵雙極型晶體管)損耗較高,而SiC MOSFET開(kāi)關(guān)損耗相比可降低多達(dá)80%,整體功率損耗降低66%。導(dǎo)通電阻方面,SiC MOSFET芯片面積則更小,如在900V導(dǎo)通電阻下,硅基MOSFET芯片尺寸比SiC MOSFET大35倍。SiC MOSFET還具有高性能體二極管,可減少器件數(shù)量和占位面積。SiC MOSFET的工作結(jié)溫和熱穩(wěn)定性更高,可達(dá)200℃或更高,適用于汽車(chē)市場(chǎng),其高耐溫性可降低系統(tǒng)散熱要求和導(dǎo)通電阻偏移?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀(guān)眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀(guān)!敬請(qǐng)關(guān)注中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì),品牌精英齊聚盛會(huì),傾情見(jiàn)證行業(yè)新輝煌,2025年3月10日上海見(jiàn)!
碳化硅是通過(guò)鍵能很高的共價(jià)鍵結(jié)合的晶體。碳化硅是用石英沙(SiO2)加焦碳直接加熱至高溫還原而成,其燒結(jié)工藝主要有熱壓和反應(yīng)燒結(jié)兩種。由于碳化硅表面有一層薄氧化膜,因此很難燒結(jié),需添加燒結(jié)助劑促進(jìn)燒結(jié),常加的助劑有硼、碳、鋁等。碳化硅的特點(diǎn)是高溫強(qiáng)度高,有很好的耐磨損、耐腐蝕、抗蠕變性能,其熱傳導(dǎo)能力很強(qiáng),僅次于氧化鈹陶瓷。碳化硅陶瓷常用于制造火箭噴嘴、澆注金屬的喉管、熱電偶套管、爐管、燃?xì)廨啓C(jī)葉片及軸承,泵的密封圈、拉絲成型模具等?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀(guān)眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀(guān)!深耕行業(yè)市場(chǎng),拓展業(yè)務(wù)網(wǎng)絡(luò),中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展,2025年3月10-12日上海世博展覽館。誠(chéng)邀您蒞臨參觀(guān)!2025年3月10日-12日華東國(guó)際先進(jìn)陶瓷與粉末冶金展覽會(huì)
“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”提高材料性能,創(chuàng)新技術(shù)工藝。2025年3月10日上海世博展覽館。誠(chéng)邀您蒞臨!3月6日先進(jìn)陶瓷裝備展
“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!陶瓷基板產(chǎn)品問(wèn)世,開(kāi)啟散熱應(yīng)用行業(yè)的發(fā)展,由于陶瓷基板散熱特色,加上陶瓷基板具有高散熱、低熱阻、壽命長(zhǎng)、耐電壓等優(yōu)點(diǎn),隨著生產(chǎn)技術(shù)、設(shè)備的改良,產(chǎn)品價(jià)格加速合理化,進(jìn)而擴(kuò)大LED產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用領(lǐng)域,如家電產(chǎn)品的指示燈、汽車(chē)車(chē)燈、路燈及戶(hù)外大型看板等。陶瓷基板的開(kāi)發(fā)成功,更將成為室內(nèi)照明和戶(hù)外亮化產(chǎn)品提供服務(wù),使LED產(chǎn)業(yè)未來(lái)的市場(chǎng)領(lǐng)域更寬廣。誠(chéng)邀您蒞臨參觀(guān)!3月6日先進(jìn)陶瓷裝備展