B.1自凈檢測(cè)是測(cè)定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一。自凈檢測(cè)*對(duì)非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,因?yàn)樽詢粜阅芘c受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例(換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),而單向流系統(tǒng)中,污染被受控氣流置換,自凈時(shí)間只受位置和距離的影響。自凈檢測(cè)應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時(shí)進(jìn)行。潔凈度ISO8級(jí)和ISO9級(jí)的潔凈室(區(qū))不推薦自凈檢測(cè)。檢測(cè)若使用人工氣溶膠,應(yīng)防止氣溶膠對(duì)設(shè)施的殘留污染。B.2自凈性能的評(píng)估方法有100:1自凈時(shí)間或潔凈度恢復(fù)率。100:1自凈時(shí)間的定義:粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時(shí)間。100:1自凈時(shí)間檢測(cè)是優(yōu)先方法。潔凈恢復(fù)率的定義:粒子濃度隨時(shí)間的變化速率。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進(jìn)行描述(縱座標(biāo)表示濃度,為對(duì)數(shù)刻度;橫座標(biāo)表示濃度,為線性刻度)。無菌室,亦稱為凈化室或潔凈室,是一種專門設(shè)計(jì)用于控制環(huán)境污染的封閉空間。安徽排風(fēng)柜潔凈室檢測(cè)值得推薦
1)單層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線;下技術(shù)夾層為回風(fēng)道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備、管線等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)評(píng)估在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時(shí)盡可能把相同級(jí)別的潔凈房間布置在一起。
4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表,若它們有防微振要求時(shí),為解決防微振問題,在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場(chǎng)地選擇過程中,需要對(duì)周圍振源的振動(dòng)影響作出評(píng)價(jià),以確定該廠址或場(chǎng)地是否適宜建設(shè)。周圍振源對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表的振動(dòng)影響,是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加,目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法。因此,應(yīng)立足于實(shí)測(cè)。過去有的工廠,由于建廠前沒有對(duì)周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測(cè),建成后發(fā)現(xiàn)對(duì)精密設(shè)備、精密儀器儀表影響很大,有的甚至難以工作,給生產(chǎn)、試驗(yàn)帶來很大困難,這說明實(shí)測(cè)振源振動(dòng)影響是非常必要的。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡潔、明快,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求。應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。
10.3.1潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,并應(yīng)符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定,并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量;2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站;4應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機(jī),5含水量要求嚴(yán)格時(shí),宜選用加熱再生吸附干燥裝置。潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。北京半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)評(píng)估
負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。安徽排風(fēng)柜潔凈室檢測(cè)值得推薦
5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí),宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時(shí),應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室(區(qū))內(nèi),電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,應(yīng)符合下列規(guī)定:1制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電,并在空氣中不應(yīng)被氧化;2應(yīng)密封性能好;3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí),宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,并應(yīng)方便操作和運(yùn)送。安徽排風(fēng)柜潔凈室檢測(cè)值得推薦