寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-03-20

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

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氦檢儀怎么選,這取決于客戶的需求:應(yīng)用類型:(例如:生產(chǎn),維護(hù)等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能:(進(jìn)入檢漏模式所需要的時(shí)間,靈敏度,響應(yīng)時(shí)間,恢復(fù)時(shí)間,初抽的能力)。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量,主要是通過以下參數(shù):初抽的能力:(m3/h),檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力:(mbar),進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間:(s),氦抽速:(l/s))靈敏度,較低可測(cè)的氦信號(hào):(mbar.l/s),響應(yīng)時(shí)間:(s),恢復(fù)時(shí)間:(s),初抽能力:將決定進(jìn)入檢測(cè)模式的時(shí)間)將決定是否只使用氦檢儀進(jìn)行檢測(cè)就可以(是否需要輔助泵)。檢測(cè)允許的較大進(jìn)氣口壓力:〉將決定進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間。進(jìn)入檢測(cè)模式所需要的時(shí)間:是由初抽能力和檢測(cè)允許的較大壓力共同決定的。其他可能會(huì)影響檢測(cè)時(shí)間的參數(shù):腔體的脫氣以及非常大的泄漏。無錫分體式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度。

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在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空、超高真空,甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),有的體積很大,達(dá)幾十立方米,甚至數(shù)百立方米,連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里,焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里,必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。

氦檢儀的撿漏方法有哪些?背壓法(壓氦法)真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件,再放入檢漏罐中檢測(cè)是否有氦氣漏出??筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小??蓹z測(cè)工件的整體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度較高。適用行業(yè):電子元器件,電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn):檢測(cè)靈敏度高;可以進(jìn)行批量化檢測(cè);一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部,無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423,2328文件而定,器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測(cè)量系統(tǒng)。這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測(cè),其漏率在漏率表上顯示出來。一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法。在夾具中放一定數(shù)量的器件,這一批的總漏率沒超過報(bào)廢預(yù)定值,說明這一批合格;總漏率超過報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半,剩下的一半繼續(xù)檢漏,這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中,依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏。

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氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題?1、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,一是由于所噴出的氦氣流是散開的,故摻有一定數(shù)量的空氣,使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對(duì)準(zhǔn)漏孔的方向,此外、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2、檢漏次序:從被檢件物體的上方至下方,由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí),應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住,再對(duì)另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí),如果,檢漏儀上的顯示有變化,其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。無錫小型氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場(chǎng)應(yīng)用。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦檢儀中沒有手動(dòng)閥,現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。氦檢儀在未來的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測(cè)氦氣,而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),不只解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問題,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

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