浙江進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦檢儀噪聲是哪兒來的？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上，目前通過對(duì)電子線路的改進(jìn)，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān)，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣），電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對(duì)氦氣抽速的不穩(wěn)定性；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5、殘余氣體分子對(duì)氦離子的散射等等。這些因素對(duì)本底噪聲及靈敏度的影響都很大。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？浙江進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。安徽真空氦質(zhì)譜檢漏儀單位噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

使用氦檢儀需注意的幾個(gè)問題：(1)檢漏方法的選擇:目前,電廠采用氦檢儀檢漏通常采用負(fù)壓采樣法,該方法操作簡(jiǎn)便,但儀器的清理時(shí)間較長(zhǎng)。根據(jù)被檢系統(tǒng)的不同也可以采用真空法檢漏,即將氦檢儀的測(cè)試口直接接至真空系統(tǒng)的抽氣管道上,通過節(jié)流閥調(diào)節(jié)氣流以衰減氦檢儀與真空系統(tǒng)間的壓差,使氦檢儀正常工作,該方法檢漏效率稍高,但安裝較為復(fù)雜。(2)儀器靈敏度:靈敏度的高低直接影響檢漏的效果。氦檢儀經(jīng)過一段時(shí)間的使用后,靈敏度會(huì)有所下降,嚴(yán)重時(shí)對(duì)純氦無反應(yīng)。因此,平時(shí)應(yīng)該經(jīng)常保持儀器,特別是質(zhì)譜室的清潔,定期打開氣鎮(zhèn)閥運(yùn)行一段時(shí)間,并給旋片真空泵換油,這樣可以減少儀器對(duì)氦的記憶效應(yīng)。另外還要定期用標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)儀器的靈敏度進(jìn)行校驗(yàn),使氦檢儀始終保持較佳的工作狀態(tài)。

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。氦檢儀自動(dòng)化程度高；

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動(dòng)時(shí)間：≤5min；4.響應(yīng)時(shí)間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環(huán)境：5-35℃；8.相對(duì)濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對(duì)濕度：<80%；供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz工作電流：10A。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響。無錫小型氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢

質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分，它包括離子源、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分。浙江進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的因素：1、受到檢測(cè)壓力的影響，泄漏率對(duì)測(cè)試壓力的依賴性，對(duì)不同的測(cè)量條件是不同的。一般而言，對(duì)于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時(shí)，試驗(yàn)壓力對(duì)泄漏率的影響較大，而對(duì)于多孔性較低時(shí)則影響較小。另外，隨測(cè)試壓力的增高，還會(huì)帶來諸如溫度影響，所需穩(wěn)定時(shí)間加長(zhǎng)等一系列問題。因此，建議對(duì)特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進(jìn)行泄漏檢測(cè)，然后選擇一個(gè)滿足測(cè)試要求的較低的壓力確定為它的測(cè)試壓力。2、受到檢測(cè)容積的影響，在一個(gè)特定的泄漏率值里，如果檢測(cè)容積增大的話，那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低，因而測(cè)量時(shí)間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下，如果不想方設(shè)法減少測(cè)量容積，那么可能會(huì)無法達(dá)到測(cè)量需要的精確度和靈敏度。浙江進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)