MEMS電容真空計(jì)是一種利用微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)制造的電容式真空計(jì)。以下是對(duì)MEMS電容真空計(jì)的詳細(xì)介紹:
基本原理MEMS電容真空計(jì)基于電容變化的原理來(lái)測(cè)量真空度。它包含一個(gè)彈性薄膜作為感測(cè)元件,當(dāng)外界氣壓改變時(shí),薄膜會(huì)發(fā)生形變,進(jìn)而改變與上下電極之間的電容值。通過測(cè)量這種電容變化,可以計(jì)算出真空度的值。具體來(lái)說,當(dāng)真空度增加時(shí),薄膜受到的壓力減小,發(fā)生向上的形變,導(dǎo)致與上電極之間的電容增加;反之,當(dāng)真空度減小時(shí),薄膜受到的壓力增大,發(fā)生向下的形變,導(dǎo)致與上電極之間的電容減小。 真空計(jì)如何快速選型?陜西金屬真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
皮拉尼真空計(jì)主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測(cè)真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負(fù)責(zé)信號(hào)放大和信號(hào)數(shù)字化的工作。
根據(jù)測(cè)量方式的不同,皮拉尼真空計(jì)可以分為定電流式和定電壓式兩種:定電流式:在這種方式中,通過加熱燈絲的電流保持恒定。當(dāng)真空壓力改變時(shí),燈絲的溫度會(huì)發(fā)生變化,從而導(dǎo)致燈絲的電阻值發(fā)生變化。這種電阻變化可以通過惠斯通電橋來(lái)測(cè)量,并轉(zhuǎn)換為真空壓力值。定電壓式:在這種方式中,加熱燈絲上的電壓保持恒定。當(dāng)真空壓力變化時(shí),燈絲的溫度和電阻值也會(huì)相應(yīng)變化。通過測(cè)量通過燈絲的電流變化,可以間接測(cè)量真空壓力。 無(wú)錫mems皮拉尼真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)真空計(jì)原理及測(cè)量范圍是?
真空計(jì)的歷史沿革1946年:,是一種***型高真空真空計(jì)。。1948年:,是典型的一類氣體組分與分壓強(qiáng)測(cè)量的真空計(jì)。1949年:、、,也是測(cè)量氣體組分及分壓強(qiáng)的一類重要的真空計(jì)。1950年:(又稱熱陰極超高真空電離真空計(jì)),解決了超高真空測(cè)量問題,推動(dòng)了超高真空技術(shù)的發(fā)展。1951年:、、,是一種與氣體種類無(wú)關(guān)的***型真空計(jì)。1953年:、,此類真空計(jì)**小可檢測(cè)分壓強(qiáng)達(dá)10^-14Pa。1957年:德國(guó)人、高壓強(qiáng)電離真空計(jì),盡量利用離子流的較好的線性等優(yōu)點(diǎn)來(lái)代替熱傳導(dǎo)規(guī)的不足。1959年:,制造工藝過于復(fù)雜難以推廣應(yīng)用。1960年以來(lái):相繼研制成功的調(diào)制規(guī)、抑制規(guī)、彎注規(guī)、分離規(guī)和磁控式電離規(guī)等已能實(shí)現(xiàn)10^-11Pa左右的超高真空測(cè)量。七十年代后的二三十年:真空測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域在新原理方面沒有出現(xiàn)明顯突破性的進(jìn)展,較多的是在基本清晰的原理思路上的改進(jìn)與補(bǔ)充,處于一個(gè)相對(duì)穩(wěn)定的時(shí)期。
金屬薄膜真空計(jì)在多個(gè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,包括但不限于:半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體制造過程中,金屬薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)真空度,確保氣氛純凈并排除雜質(zhì),從而提高芯片的質(zhì)量和可靠性。真空冶金:在真空冶金領(lǐng)域,金屬薄膜真空計(jì)用于確保加工環(huán)境的純度和穩(wěn)定性,以確保冶金產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性?;どa(chǎn):在化工生產(chǎn)中,金屬薄膜真空計(jì)廣泛應(yīng)用于反應(yīng)釜的真空控制,以確?;瘜W(xué)反應(yīng)的穩(wěn)定性和有效性。同時(shí),它還可以用于監(jiān)測(cè)化工生產(chǎn)中的環(huán)境和設(shè)備的真空質(zhì)量。光學(xué)領(lǐng)域:在光學(xué)薄膜的加工和表征過程中,金屬薄膜真空計(jì)用于監(jiān)控真空氣氛中的濺射顆粒,確保薄膜的質(zhì)量。醫(yī)療領(lǐng)域:在醫(yī)學(xué)設(shè)備的制造和維護(hù)過程中,金屬薄膜真空計(jì)用于監(jiān)測(cè)放射設(shè)備中的真空環(huán)境等,確保其正常工作。皮拉尼真空計(jì)是一種測(cè)量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。
真空計(jì)可以按照測(cè)量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測(cè)量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計(jì)具有不同的測(cè)量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測(cè)量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí),比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)的測(cè)量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)(如Bayard-Alpert規(guī))可以將測(cè)量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規(guī)的測(cè)量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。真空計(jì)的讀數(shù)可能會(huì)受到外部環(huán)境因素的影響。安徽大氣壓真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)
真空計(jì)如何選型與使用?陜西金屬真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
真空計(jì)的應(yīng)用領(lǐng)域拓展:
半導(dǎo)體和電子產(chǎn)業(yè):半導(dǎo)體制造過程中需要高度精確的真空環(huán)境,直接推動(dòng)了真空計(jì)的需求增長(zhǎng)。同時(shí),5G技術(shù)、人工智能和物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展也帶動(dòng)了電子產(chǎn)業(yè)對(duì)高精度真空計(jì)的需求。光伏產(chǎn)業(yè):太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)依賴于真空技術(shù),光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展進(jìn)一步推動(dòng)了對(duì)真空計(jì)的需求。醫(yī)療和制藥行業(yè):真空技術(shù)在醫(yī)療設(shè)備和藥品生產(chǎn)中的應(yīng)用增加,如真空冷凍干燥技術(shù),這也增加了對(duì)高性能真空計(jì)的需求。環(huán)保:許多國(guó)家的環(huán)保法規(guī)要求工業(yè)生產(chǎn)過程中減少有害氣體排放,采用真空技術(shù)有助于實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),從而推動(dòng)了真空計(jì)的應(yīng)用。 陜西金屬真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商