碳化硅外延需經(jīng)過(guò)光刻、沉積、離子注入等前段工藝形成碳化硅晶圓,再經(jīng)過(guò)減薄、封裝等后段工藝分別形成碳化硅芯片、功率器件及功率模塊。在制程上,SiC芯片與硅基器件的工藝類似,但SiC制備需要特殊設(shè)備,如高溫離子注入機(jī)和高溫?zé)崽幚碓O(shè)備等??涛g、減薄等環(huán)節(jié)也需特殊設(shè)備。“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!五展聯(lián)動(dòng);第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)(PM CHINA)、2025上海國(guó)際線圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)(MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)(AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)(POWDEX CHINA)同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng),串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈,吸引更多的觀眾群體,形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技,又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀!中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì),2025年3月10-12日與業(yè)內(nèi)精英齊聚上海,為行業(yè)加油鼓勁,為展會(huì)助力喝彩!2025年3月10日上海國(guó)際先進(jìn)陶瓷高峰論壇
碳化硅是通過(guò)鍵能很高的共價(jià)鍵結(jié)合的晶體。碳化硅是用石英沙(SiO2)加焦碳直接加熱至高溫還原而成,其燒結(jié)工藝主要有熱壓和反應(yīng)燒結(jié)兩種。由于碳化硅表面有一層薄氧化膜,因此很難燒結(jié),需添加燒結(jié)助劑促進(jìn)燒結(jié),常加的助劑有硼、碳、鋁等。碳化硅的特點(diǎn)是高溫強(qiáng)度高,有很好的耐磨損、耐腐蝕、抗蠕變性能,其熱傳導(dǎo)能力很強(qiáng),僅次于氧化鈹陶瓷。碳化硅陶瓷常用于制造火箭噴嘴、澆注金屬的喉管、熱電偶套管、爐管、燃?xì)廨啓C(jī)葉片及軸承,泵的密封圈、拉絲成型模具等?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀!3月10-12日中國(guó)上海市先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)靠技術(shù)騰飛,借展會(huì)布局,云集中外品牌的“中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì):2025年3月10-12日我們上海見(jiàn)!
外延生長(zhǎng)技術(shù)是碳化硅器件的關(guān)鍵環(huán)節(jié),外延質(zhì)量對(duì)器件性能影響很大,碳化硅襯底無(wú)法直接制作器件,優(yōu)質(zhì)外延工藝可改進(jìn)微管(Micropipe)、多型、劃痕、層錯(cuò)、貫穿螺型位錯(cuò)(TSD)、貫穿刃型位錯(cuò)(TED)和基平面位錯(cuò)(BPD)等襯底缺陷,減少外延生長(zhǎng)缺陷,同時(shí)精確控zhi摻雜濃度,提升均勻性和器件良率。不同外延層厚度對(duì)應(yīng)不同耐壓等級(jí)的器件規(guī)格。通常,1μm的外延層對(duì)應(yīng)100V左右的耐壓;耐壓在600V左右時(shí),需要6μm左右的外延層;耐壓高于10000V時(shí),外延層厚度需在100μm以上?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀!
注射成型過(guò)程中由于工藝參數(shù)控制不當(dāng),或者是喂料本身缺陷,以及模具設(shè)計(jì)不合理等因素,容易造成諸如欠注、斷裂、孔洞、變形、毛邊等各種缺陷。結(jié)合具體過(guò)程,對(duì)常見(jiàn)的注射缺陷進(jìn)行分析,并加以控制,以提高生產(chǎn)率和喂料的利用率。1、欠注缺陷,指喂料在充模過(guò)程中不能充滿整個(gè)模腔。一般在剛開(kāi)始注射時(shí)產(chǎn)生,可能是由喂料溫度或模具溫度過(guò)低、加料量不足、喂料粘度過(guò)大等因素引起的。通過(guò)增加預(yù)塑時(shí)間升高喂料溫度、升高模具溫度、加大進(jìn)料量、升高注射溫度降低喂料粘度等措施可以消除此缺陷。2、斷裂缺陷斷裂。一般發(fā)生在脫模中,往往是脆斷。主要是因?yàn)槟>邷囟忍?,或者是保壓和冷卻時(shí)間過(guò)長(zhǎng),使得坯體溫度大幅下降,引起的收縮太大使坯體緊緊箍在下部凸模上,在模具頂出機(jī)構(gòu)的強(qiáng)烈沖擊下,很容易引起脆斷。通過(guò)適當(dāng)升高模溫以及減少保壓和冷卻時(shí)間,在脫模過(guò)程中可以避免斷裂。3、孔洞缺陷,孔洞,指在生坯的橫截面上可以發(fā)現(xiàn)的孔隙。有的是一個(gè)近圓形的小孔,有的就發(fā)展為幾乎貫穿生坯坯體的中心通孔,這是常見(jiàn)的缺陷,注射成型樣品不同部位產(chǎn)生的氣孔的原因也不一樣?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館開(kāi)幕。誠(chéng)邀您蒞臨參觀!
我國(guó)碳化硅產(chǎn)業(yè)雖起步較晚,但近年來(lái),在國(guó)家政策推動(dòng)和地方積極產(chǎn)業(yè)布局下,我國(guó)逐步形成了覆蓋襯底、外延、器件等環(huán)節(jié)的完整的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈,并形成了以京津冀、長(zhǎng)三角、珠三角等區(qū)域的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。其中,京津冀區(qū)域集中了清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院半導(dǎo)體所等相關(guān)科研院所,并擁有天科合達(dá)、同光晶體、泰科天潤(rùn)、世紀(jì)金光等第三代半導(dǎo)體企業(yè),初步形成較為完整的碳化硅產(chǎn)業(yè)鏈;長(zhǎng)三角區(qū)域目前形成了以蘇州為中心的氮化鎵全產(chǎn)業(yè)鏈集群和以上海為中心的碳化硅功率半導(dǎo)體企業(yè)集群;珠三角區(qū)域作為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)資源集中地區(qū),成立了多個(gè)研究基地,擁有包括東莞天域、東莞中鎵、亞迪半導(dǎo)體等在內(nèi)的第三代半導(dǎo)體相關(guān)企業(yè)?!暗谑邔弥袊?guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕!展會(huì)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。誠(chéng)邀您蒞臨參觀!如何開(kāi)拓更有價(jià)值的新領(lǐng)域?如何延伸萬(wàn)億市場(chǎng)應(yīng)用空間?敬請(qǐng)關(guān)注2025年3月10日中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽!2025年3月10日上海國(guó)際先進(jìn)陶瓷高峰論壇
賦能品質(zhì)制造,探索萬(wàn)千可能。中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)承載業(yè)界期許,2025年3月10-12日誠(chéng)邀您蒞臨參觀!2025年3月10日上海國(guó)際先進(jìn)陶瓷高峰論壇
陶瓷注射成型技術(shù)作為一種新興的精密制造技術(shù),有著其不可比擬的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。成為國(guó)內(nèi)外精密陶瓷零部件中具有優(yōu)勢(shì)的先進(jìn)制備技術(shù)。“第十七屆中國(guó)?國(guó)際先進(jìn)陶瓷展覽會(huì)”將于2025年3月10-12日上海世博展覽館盛大開(kāi)幕。五展聯(lián)動(dòng)孕育無(wú)限發(fā)展商機(jī)IACE CHINA 2025將與第17屆中國(guó)?國(guó)際粉末冶金及硬質(zhì)合金展覽會(huì)(PM CHINA)、2025上海國(guó)際線圈、變壓器、電感、電機(jī)與磁性材料展覽會(huì)(MMIC CHINA)、2025上海國(guó)際增材制造應(yīng)用技術(shù)展覽會(huì)(AM CHINA)和2025上海國(guó)際粉體加工與處理展覽會(huì)(POWDEX CHINA)同期同地舉辦。五展聯(lián)動(dòng),串聯(lián)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈,吸引更多的觀眾群體,形成既匯聚更多參展企業(yè)同臺(tái)競(jìng)技,又滿足觀眾和買家多樣化需求的“一站式”商貿(mào)交流平臺(tái)。本屆展會(huì)(2025年)展覽面積將超過(guò)50,000平方米,中外展商約900家,參展品牌1500個(gè),國(guó)內(nèi)外觀眾預(yù)計(jì)將達(dá)到70,000人次。展會(huì)打通供需堵點(diǎn),整合全產(chǎn)業(yè)鏈資源,集中展示涵蓋原材料、設(shè)備、儀器、制品等一應(yīng)俱全的產(chǎn)品、服務(wù)和整體解決方案。 誠(chéng)邀您蒞臨參觀!2025年3月10日上海國(guó)際先進(jìn)陶瓷高峰論壇